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  • 直流射頻磁控濺射薄膜沉積與高溫封接系統
  • 真空涂覆設備
  • 四靶柵網磁控濺射臺
  • 可調式射頻復合濺射
  • 矩形靶
  • 多弧離子鍍結合非平衡磁控濺射設備
  • 多功能膜沉積系統
  • 大功率連鍍式濺射儀
  • 程控鍍膜機
  • TFR-3-等離子體刻蝕及敷膜裝置
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